Трубчатая печь с двумя зонами нагрева PECVD

Трубчатая печь с двумя зонами нагрева PECVD разработана для снижения температуры реакции традиционного CVD, для чего для ионизации реагирующего газа установлено радиочастотное индукционное оборудование перед традиционным CVD, так что генерируется плазма высокой активности (реакция ускоряется). Это идеальный и доступный инструмент для осаждения тонких пленок или преобразования нанопроволоки из газового состояния (пара) в твердое состояние. Широкий спектр применения: металлическая пленка, керамическая пленка, композитная пленка, непрерывный рост различных пленок.

Трубчатая печь с раздельными зонами нагрева серии PECVD является новейшим продуктом, в ней синтезированы преимущества большинства трубчатых систем PECVD и добавлена ​​зона предварительного нагрева перед системой PECVD. Испытания показали, что скорость наплавки выше, качество пленки лучше, дырок меньше, нет трещин. Обработка выполняется при более низких температурах по сравнению с обычным CVD. Напряжение пленки можно контролировать с помощью методов высокочастотного / низкочастотного смешения. Разделенная камера печи служит для быстрого и легкого доступа к трубам. В стандартную комплектацию входит набор вакуумных уплотнительных фланцев из нержавеющей стали с клапанами и манометром.

Раздельная трубчатая печь серии PECVD оснащена проволочными нагревательными элементами известной марки Kanthal (Швеция), встроенными в высококачественную изоляцию из оксидно-алюминиевого волокна Mitsubishi (Япония). Полностью стальной двухслойный корпус обеспечивает долговечность и помогает минимизировать потери тепла на внешнюю поверхность. Работа печи контролируется 40-сегментным цифровым контроллером Shimaden (Япония) со встроенным цифровым коммуникационным портом RS485 и USB-адаптером, позволяющим подключаться к ПК для дистанционного управления и мониторинга печи. Оператор также может сохранить или экспортировать результаты теста.